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CRF plasma 等離子清洗機

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晶圓微電子芯片封裝前采用等離子體發(fā)生器嫁接生產(chǎn)線清洗

晶圓微電子芯片封裝前采用等離子體發(fā)生器嫁接生產(chǎn)線清洗:
       伴有光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,半導體元器件等微電子技術產(chǎn)業(yè)也迎來了創(chuàng)新發(fā)展的關鍵時期,使產(chǎn)品性能質量成為微電子技術公司的追求。高精密、高性能、高品質是很多新科技領域內的技術標準及企業(yè)的產(chǎn)品質量檢驗原則。在整體微電子技術封裝環(huán)節(jié)中,各類顆粒和其它污染物質附著在半導體元器件表面。這些有機污染物長期存在將嚴重危害微電子技術設備的穩(wěn)定性和使用年限。

       封裝過程的產(chǎn)品質量直接關系微電子技術該產(chǎn)品的生產(chǎn)制造,整體封裝環(huán)節(jié)中最大的問題就是粘附在產(chǎn)品表層的污染物質。等離子清洗可根據(jù)有機污染物各個階段廣泛應用于每個過程的前端。一般分布在粘貼、導線鍵合和塑料包裝之前。CRF等離子體發(fā)生器清洗在整體封裝環(huán)節(jié)的作用主要包含防止封裝分層,提升焊絲產(chǎn)品質量,提升粘接強度,提升可靠性,提升合格率,降低成本。
        由于干洗方法可以去除污染物質,而又不損傷IC芯片表層的材料特性和導電性能,因而在很多清洗方法中具有很強的優(yōu)勢。當中,等離子體發(fā)生器清洗具有很強的優(yōu)勢。操作簡單,控制精度高,無熱處理,全過程無污染,安全可靠。它已廣泛應用于先進的包裝領域。
       等離子體是帶電粒子在膠體中有著充足正負電荷的物質聚集狀態(tài),或者由大量的帶電粒子構成的非凝聚系統(tǒng)。等離子體由帶正負電荷和亞穩(wěn)態(tài)的分子和原子構成。

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